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LMSP系列平面電機
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 LMSP系列 
     X-Y平臺
     整合位置感測器可作閉迴路控制
     採用空氣軸承故無磨耗
     磁場不外漏，不影響周圍設備
     無溫升問題
     可倒吊安裝
     定子面積可達1000x1000mm

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