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特征

行程可達4m x 4m

以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺

良好接地設計防止噪聲干擾

Z向震動可達奈米等級以下

速度高至5m/s

標準重現精度1um或以下

位置回饋系統分辨率低至50nm

應用

半導體設備

自動化搬送

FPD設備

太陽能制造設備

PCB設備

水刀設備

鉆石切割產業

AOI檢測設備

工具機